近日，德圖儀器 Emission 團隊攜手我國中國臺灣地區合作伙伴德斯特儀器，圓滿完成全球半導體龍頭企業臺積電（TSMC）的煙氣監測與數據管理項目交付。首批 15 套 testo 350 煙氣分析儀及數據采集傳輸系統已全面投入臺積電各廠區日常運行，為其廢氣治理升級、氮氧化物精準減排、綠色能效優化提供了堅實的數據支撐。

歷經近 1 年半的深度協作，從前期用戶需求調研、現場工藝勘察，到技術方案論證、樣機測試驗證，再到最終的系統部署與交付，德圖團隊與中國臺灣德斯特緊密配合，成功解決了臺積電在生產制造全流程中的廢氣檢測、VOC 廢氣處理設備效率評估、廠區排放合規監測等多項核心難題，助力臺積電踐行綠色低碳發展理念。

項目背景

半導體巨頭的綠色升級需求

作為全球知名的半導體制造企業，臺積電始終將環保、綠色、低碳作為企業發展的核心戰略之一。本次項目正是臺積電為落實中國臺灣地區《環境保護政策》，采用最佳可行技術實現空氣污染物最低排放目標而啟動的關鍵舉措，旨在通過優化不同類型廢氣處理設備的燃燒工況，最終實現 60%-65% 的 NO? 減排目標。

臺積電與德圖的合作由來已久，多年來一直使用 testo 煙氣分析儀進行廠區排口的廢氣排放合規監測。隨著企業近年來在環境保護、綠色低碳、ESG 方向的全面深化發展要求，用戶需求從簡單的單點煙氣檢測，擴展到了對工藝過程定期&分時段在線監測，以及數據的同步上傳和再利用、廢氣處理設備的燃燒優化和能效管理、再到廢氣的合規排放監測等多樣化需求。具體如下：

• 踐行綠色工廠以及 ESG 目標

• 廢氣處理設備燃燒優化調整

• 對脫硝工藝和效率進行監測

• 環保職能人員對每個廠區的終端排口廢氣進行手工監測

• 通過煙氣測量驗證廠商所供應設備是否達標

• 踐行綠色工廠以及 ESG 目標

德圖定制化解決方案

 精準測量 + 智能數據管理

項目成效

全方位賦能綠色制造

目前，testo 350 煙氣分析儀已全面部署于臺積電中國臺灣所有廠區，廣泛應用于日常設備維護、燃燒系統調節與廢氣排放監測等工作，尤其在脫氮減排技術改進中發揮了關鍵作用。

1. 全流程精準數據支撐

從燃燒工況調整、NO? 源頭減排、燃料消耗優化，到 CO? 減排與碳捕集利用（CCUS），德圖煙氣分析儀憑借高精度的測量能力，為每一個環節提供了可靠的數據依據，幫助臺積電實現了廢氣治理的精細化管理。

2. 數字化數據管理升級

通過搭載模擬輸出盒和 MODBUS（RS485）模塊，testo 350 可將測量數據實時傳輸至臺積電的設備管理平臺，實現了測量數據的集中存儲、分析與再利用。同時，基于 MODBUS 協議的遠程控制功能，讓運維人員無需親臨現場即可完成設備操作與故障排查，大幅提升了工作效率。

3. 持續的用戶體驗保障

德圖便攜煙氣設備兼具專業性能與人性化設計，操作流暢、攜帶方便，即使在復雜的半導體生產環境中，也能為用戶提供穩定可靠的測量體驗，獲得了臺積電環保與運維團隊的高度認可。

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